Bei diesem dreigeschossigen, komplett unterkellerten Neubau der ASML Berlin GmbH, handelt es sich um ein multifunktionales Gebäude, bestehend aus einem Verwaltungstrakt mit Kantine und einem größeren Fertigungsbereich, der sich ebenfalls über 3 Etagen erstreckt.
Die beiden Gebäudeteile werden durch ein offenes Atrium miteinander verbunden, in dem auf verschiedenen Ebenen ein Konferenzraum und Think-Tanks integriert sind.
Im UG und EG im Verwaltungsbereich, befindet sich eine Großküche mit Show-Cooking Bereich und die Kantine zur Essensversorgung der Belegschaft.
In dem dreigeschossigen Fertigungsbereich vom UG bis 1.OG ist ein Teil der hochmodernen Produktion der ASML Berlin GmbH verortet.
Die Technikflächen für die umfangreiche Versorgung des Gebäudes mit Heizung, Kälte, Lüftung und Elektrotechnik sind im Untergeschoss und größtenteils auf dem Dach angeordnet.